日志
Thermocouple-TC 低真空测量元件
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由于3125型真空磁控溅射台工作的基础就是真空。如何获取真空、测量真空，就是少不了的功课。
在获取真空方面，有各种各样的泵和气阀配合即可完成，正如前文所提到的机械泵+扩散泵（分子泵或冷泵）的模式。至于真空测量，由于工作的关系接触到了瓦里安公司的531型Thermocouple vaccum gauge tube(以下简称TC)和564型ionization gauge tube（离子规）。
初接修设备的时候，由于当时自己刚毕业，又没有师傅懂得这台设备的维修，可以参考的只有一本已残缺的设备操作手册还有操作过类似设备的师傅。这样的背景下，只有发挥想象力去猜，完了再去验证了。
翻开手册，相关章节中找到了真空系统的框图，依据框图找到了图上TC1和TC2在机器上的对应元件。从手册的“Thermocouple vaccum gauge tube”的描述中得到这样一个信息：肯定是有热电阻存在的，而且有发热元件。用于真空测量，那么原理上肯定是利用不同真空度情况下热交换效率不同来测量真空度。
如此，只要进行验证即可（当时住工厂宿舍无网络可用）。再仔细翻阅手册，得到如下的电路图一张：
有这张图就更好理解了，恒定的电流流过发热元件单位时间内产生的热量也是恒定的，如果外界环境热交换效率高的话，发热元件旁边的热电阻变化肯定大。而不同的真空度热交换效率的确是不同的（如果不明白那就想想保温瓶为什么要抽成真空吧）！
原来真空测量原理就这么简单！
注：由于工作机理的原因，这类管子只能测量低真空（10-3托）如果需要测高真空，则需要其他元件（如离子规）。1托=1mmHg=1毫米汞柱
